進化しつづけるFPDの製造工程で各種膜厚、薄膜を評価・分析
HORIBAは、HORIBA JOBIN YVON社の分光エリプソメータ(膜厚計)に、自社の全自動測定技術を融合させ、全自動で同時一括測定を可能にした全自動薄膜計測システムFF-1000(膜厚計)を開発しました。
FF-1000は、さまざまなガラス基板上の各種薄膜の膜厚や光学定数を、高速かつ高精度に測定できます。
縦横2m以上の大型ガラス基板に対応するほか、TFT(Thin Film Transistor)における低温ポリシリコンやアモルファスシリコン、有機EL(Organic Electro Luminescence)など次世代FPDの製造工程にも対応、FPDのさらなる普及と技術革新に大きく貢献します。





