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パソコンをはじめいろんなところに使われているIC(集積回路)。今ではこのICの集積度をさらに高めたLSIが一般的になっています。LSIでは5mm四方の大きさのなかに、数千から数万個のトランジスタが組み込まれています。そしてそれぞれのトランジスタをつなぐ配線は、1μm(1000分の1mm)の幅で縦横に張り巡らされています。

ところで、この配線上にたとえば1μmという目に見えないゴミが付いたとしたらどうなるでしょう。配線と配線の間がショートし、ICはこわれてしまい電気製品やパソコンは動かなくなってしまいます。だから半導体メーカーでは、クリーンルームというごみや塵がほとんどない部屋でICを作っています。でも、何かの原因で、IC基盤にごみが付いたとしたら、その原因を突き止めなければなりません。

ここで活躍しているのがX線分析装置。1μmという目に見えないごみは、電子顕微鏡で何万倍も拡大して観察し、そのごみが何でできているかがわかるのです。ものはいろんな元素で構成されていますが、この元素には独特な性質があります。電子顕微鏡はものに電子線を当てて拡大し観察しますが、ものに電子線を当てると元素からX線という放射線が出てきます。この放射線のエネルギーは、元素の種類によって違います。だから、X線のエネルギーを調べることによってそのごみが何でできているかわかるのです。そして、ごみの成分がわかればそのごみがどこからやってきたのかわかり、ごみ発生の原因究明になるのです。

ところで、5mm四方のICを東京ドームに置き換えたら0.5〜1μmのごみはてんとう虫くらいの大きさになります。東京ドームの中でてんとう虫を探し出し、それが何でできているのかまでわかってしまうすごい能力を持った装置が、X線分析装置なんです。この装置は、半導体メーカーをはじめ、新素材産業、化学産業などで活躍しています。